6、陈鹏
发布时间：2020-09-10
信息来源：北京市科学技术委员会网站
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- 陈鹏;杰出青年中关村奖
陈鹏，1978年10月生，北京北方华创微电子装备有限公司射频工程中心总经理，研究方向为射频与等离子体技术。主要科技成就贡献有：带领团队研发了射频等离子系统，该系统是集成电路生产线上刻蚀和PVD设备中的关键系统；参与研发了8吋等离子刻蚀机、多种12吋PVD设备，使开发的量产刻蚀和PVD工艺设备，首次突破了国际龙头企业的垄断，实现了国产化，产品已逬入我国主要集成电路生产企业，实现销售超过10亿元。曾入选北京市百千万人才工程等。
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