1、大能量、高平均功率皮秒激光器关键技术研发及应用
发布时间：2020-09-11
信息来源：北京市科学技术委员会网站
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发布时间：2020-09-11
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由中国科学院半导体研究所等单位完成
该成果属于电子与通信技术领域。项目针对皮秒脉冲激光的脉冲能量、平均功率的核心关键问题展开研究，取得了创新性成果。主要技术发明有：发明了双脉宽激光和脉冲串皮秒激光技术，实现平均功率166W、脉冲能量8.3mJ的高能量皮秒脉冲串激光输出；采用再生放大、板条放大和侧面泵浦放大三种放大技术优势结合，实现高平均功率；发明了多脉冲抑制倍周期的方法，实现重复频率1kHz~1MHz、单脉冲能量10uJ~1mJ无倍周期连续可调的皮秒激光器，实现高重复频率；突破了寄生振荡抑制首脉冲和POD控制方法，实现了工程化应用中脉冲能量均一和脉冲个数精准控制，突破产业化关键技术。
成果获授权发明专利36顶，发表SCI论文40余篇，成果已推广应用于华为手机等全面屏切割、手表精密部件加工等领域。
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