该成果属于半导体器件与技术领域。柔性显示是新型显示产业的创新升级方向,柔性显示的技术突破与产业化,对进一步提升我国显示产业的全球竞争力意义重大。成果针对柔性可弯折AMOLED显示技术在耐弯折性能、高分辨率设计、工艺集成等方面亟需攻克的世界难题,完成结构设计、材料选择与验证、设备工艺开发与验证等内容,开发出具有自主知识产权的全球领先的柔性可弯折AMOLED显示技术,实现技术工艺创新集成。主要创新如下:
1. 提出了多中性层理论,突破了只有更薄集成结构才能实现小半径折叠的限制,首次设计出全球独有的针对外折的AMOLED产品多膜层结构,实现了曲率半径5mm条件下20万次弯折。
2. 发明了具有自主知识产权的高开口率像素排列方式及子像素渲染算法,实现了更高分辨率、更宽工艺窗口的像素设计。
3. 开发了新型AMOLED器件结构及材料掺杂工艺,降低了空穴-电子界面堆积引起的激子淬灭,解决了AMOLED器件普遍寿命差、发光效率低的难题,寿命提升180%,功耗降低5%。
4. 开发了高耐热、低热膨胀聚酰亚胺(PI)薄膜基板结构与性能精准调控、柔性薄膜基板剥离、柔性薄膜封装、低温多晶硅(LTPS)、极致窄边框等关键技术,实现了柔性可弯折AMOLED显示技术工艺集成,在国际上首次实现5mm半径外折手机的量产,并开发了符合量产性能要求的国产化PI材料。
该成果获授权发明专利1320项(国际专利515项),实用新型专利535项,自主设计建成了我国首条第6代柔性AMOLED生产线,累计销售收入超70亿元。成果带动了显示行业技术的逬步与革新,巩固提升了我国新型显示行业的全球技术竞争力,为首都经济结构优化升级作出了突出贡献。
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