近日,中国科协正式发布2022年“科创中国”系列榜单,北京经开区企业东方晶源微电子科技(北京)有限公司(以下简称东方晶源)申报的“电子束硅片图形缺陷检测与关键尺寸量测设备关键技术及应用”项目荣登“科创中国”先导技术榜。在多年的研发创新中,东方晶源连续突破高速高精度硅片传输定位、高速图像像差补偿、自动缺陷检测和智能分类、小线宽尺寸量测四项关键技术和多项配套技术,成功推出电子束缺陷检测设备(EBI)与关键尺寸量测设备(CDSEM)并完成产线验证,领跑国内相关细分领域。
研发人员正在进行试验。
据了解,东方晶源研发生产的电子束缺陷检测设备可解决28nm及以上制程的缺陷检测问题,在产线量产近2年,可靠性达到90%以上,使用率达到80%以上。关键尺寸量测设备的量测结果和重复性可以达到国际主流设备的容差范围,能够解决28nm/40nm制程图形量测需求,其中线宽大于90nm的layer已经与POR设备match,并进入产线使用,设备可靠性达93%。
如今的成绩也映射出东方晶源多年来坚韧不拔的意志和追求创新的精神,正是这种精神让东方晶源连续突破多种“卡脖子”技术,也为集成电路关键设备的国产化添上东方晶源的一块“砖”。
“电子束缺陷检测设备和关键尺寸量测设备是集成电路制造中用于良率监控的关键设备,对于提高集成电路制造企业的产品良率具有重要意义,但相关设备此前一直被国外垄断。作为一家聚焦于集成电路领域良率管理的企业,我们始终将研发生产该类设备当做公司的发展目标之一,并在这条道路上坚持不懈地走下去。”东方晶源相关负责人表示,在研发过程中,东方晶源团队提出了电子光学与光学同轴粗对准定位及二维数字光栅分区检测的复合高精度定位技术,实现纳米级定位精度及高速传动;发明新型电磁复合偏转器,使得公司设备的有效分辨率优于同类产品;基于DNA图像处理方法,开发了基于深度机器学习和支持向量机相结合的新型分类算法,实现高并发电子束缺陷检测高准确度自动分类……虽然已经取得了出色的成绩,但东方晶源研发团队仍然持续对设备进行迭代升级,不断提高产品性能,以期为客户提供更好的产品和服务。
“目前,公司的电子束缺陷检测设备和关键尺寸量测设备均已通过产线验证并进入Fab量产,同时获得多家客户重复订单,这也体现了越来越多的人认可了我们的产品,不仅对于打破国外垄断有着重要意义,对于公司自身来说也具有里程碑意义。”东方晶源相关负责人表示,作为国内率先实现电子束检测量测设备的企业,产品的推出填补了国内相关空白,摆脱了受制于人的局面,为我国集成电路产业链自主可控贡献了重要力量。
东方晶源电子束量测检测相关技术已获得国内授权专利31项、国际发明专利8项、实用新型专利2项,以及软件著作权6项;东方晶源研制及量产的国产化电子束缺陷检测设备与关键尺寸量测设备均已进入国内知名半导体厂商……谈及未来,东方晶源相关负责人表示:“东方晶源将积极响应国家政策,充分发挥自身在技术、人才、资源、产业化等方面的优势,继续立足良率管理,向更多检测细分领域以及以计算光刻为核心EDA领域加速布局,完善产业链,加速产业化进程,提升核心竞争力,填补半导体电子束检测设备领域的国内空白,向着成为集成电路领域良率管理领导者的目标不懈奋斗。”
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