斩获中国专利金奖！来自北京经开区——
发布时间：2026-09-04
信息来源：北京亦庄微信公众号
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发布时间：2026-09-04
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近日，国家知识产权局发布《国家知识产权局关于第二十六届中国专利奖授奖的决定》，北京经开区企业北方华创凭借卓越的创新能力与核心技术突破，获第二十六届中国专利金奖，也是本次获金奖的唯一一家半导体设备企业，彰显其在高端装备领域的硬核实力。
此次荣获金奖的专利为“射频阻抗匹配的方法及装置、半导体处理设备”，精准聚焦半导体设备的关键核心技术。该专利技术能够快速扫频至与目标扫频参数相匹配，有效保证脉冲等离子体顺利点火，显著提高匹配性能。通过减小射频电源的反射功率，使得输出的射频功率尽可能加载至负载上，从而降低功耗、提高匹配效率和应用窗口，满足客户先进刻蚀工艺的需求。更为重要的是，该专利技术打破进口机台在这一领域的长期垄断局面，为集成电路设备在先进制程领域的国产化打开关键突破口。
北方华创能够摘得这一专利领域最高奖项，离不开其对知识产权工作长期以来的布局与深耕。近年来，在全球半导体产业链深度重构的背景下，北方华创将知识产权深度嵌入研发、生产与全球经营，构建立体防护网。截至最新年报，北方华创累计申请专利超11300项，授权超6500项，在中国半导体设备领域首屈一指。公司建立完善的知识产权质量控制体系，万余件专利申请中发明专利占比超80%，授权率持续保持在80%以上。同时，公司积极推进海外专利布局，海外专利占比超20%，覆盖欧、美、日、韩等区域，为拓展海外市场构筑坚实的法律屏障。此外，公司将知识产权全面融入集成产品开发（IPD）体系，在各业务部门设立知识产权业务伙伴（IPBP）岗位，将知识产权服务直接输送到业务最前端，实现从立项、研发到上市的全流程护航。
北方华创有关负责人表示，面向未来，企业将继续以创新为驱动，以知识产权为利剑，持续深耕关键技术创新，加速专利成果产业化，为打造具有全球竞争力的集成电路装备产业贡献更大力量。
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